使用機材・装置
システム開発
System Develop
ウェハー測定用手動プローバー（6インチ以下対応）
MODEL AKON-Prober-6i
ウェハー測定用のマニュアルプローバー
テスターと組み合わせて、ウェハ上のデバイスを検査するのに便利です。
- ウェハーサイズ
- ～6インチ
- ステージ移動範囲
- X：180mm Y：180mm
- θ軸 ステージ回転角度
- ±45°
- 外形寸法
- 460（W）ｘ 752（L）ｘ 626（H）
- 装置重量
- 40Kg（光学顕微鏡含む）
- 主な特徴
- check最大6インチウェハーまで対応（ウェハの端から端まで移動可能）
- checkXYZ移動はもちろん、斜め移動、θ（シータ）調整も可能
- checkXY移動は、高速移動／微細移動の2段階
- checkセーフティーロック機能（ピンをDOWNしたらXY移動が移動できないようロック）
- check光学顕微鏡
- check任意のデバイスサイズに対応（デバイスに合わせてプローブピン、カードを作成）
- オプション機能
- check8インチ対応
- checkデジタル顕微鏡に変更
- checkエアーによるウエハ吸着
